直線導(dǎo)軌可用于真空機(jī)器人，主要用于晶圓搬運(yùn)行業(yè)，但是在真空環(huán)境下，對(duì)各部件的要求很多，但對(duì)于直線導(dǎo)軌來(lái)說(shuō)，則主要是潤(rùn)滑和材料兩方面。

  直線導(dǎo)軌在真空環(huán)境下也是需要潤(rùn)滑的，而潤(rùn)滑畫在真空環(huán)境下運(yùn)行一段時(shí)間，也會(huì)蒸騰的，這些油脂會(huì)對(duì)晶圓造成污染，而且也會(huì)讓直線導(dǎo)軌失去油消作用。所以要選用真空專用油脂潤(rùn)滑。另外一方面則對(duì)直線導(dǎo)軌的材料有要求，一般的直線導(dǎo)軌是用金屬和塑料制作的，這些材料在真空環(huán)境下，會(huì)對(duì)晶圓的質(zhì)量產(chǎn)生影響，因此要選用特定的材料來(lái)制作直線導(dǎo)軌。此外比較重要的一點(diǎn)就是真空環(huán)境下，對(duì)直線導(dǎo)軌的精密度要求較高，因此要選用精密等級(jí)較高的直線導(dǎo)軌，否則很難保證晶圓的質(zhì)量。

  除了以上幾點(diǎn)以外，直線導(dǎo)軌在真空下正常工作，還有很多標(biāo)準(zhǔn)，這就需要參考許多專業(yè)資料。